发明名称 |
MANUFACTURE OF PATTERNED METAL OXIDE THIN FILM AND COMPOSITION MATERIAL USED THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH046717(A) |
申请公布日期 |
1992.01.10 |
申请号 |
JP19900108285 |
申请日期 |
1990.04.24 |
申请人 |
KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
NANAO TSUTOMU |
分类号 |
C04B41/87;C01G1/00;C03C17/25;C03C17/34;H01B5/14;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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