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发明名称 A METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0405659(A3) 申请公布日期 1992.01.08
申请号 EP19900201624 申请日期 1990.06.21
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 DE BRUIN, LEENDERT;VERHAAR, ROBERTUS DOMINICUS JOSEPH;VAN LAARHOVEN, JOSEPH MARTINUS FRANCISCUS
分类号 H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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