| 摘要 |
본 개시의 실시형태는, 디바이스에 인가되는 관성 변화를 결정하도록 구성되는 MEMS에 대한 기술 및 구성을 대상으로 한다. 하나의 예에서, 디바이스는 공진 파장을 갖는 광 빔을 생성하도록 구성되는 레이저 장치, 광 빔을 수신 및 출력하도록 구성되는 도파관, 및 변형가능한 폐루프를 포함하며 광 빔의 한 부분을 수신하기 위해 도파관에 광학적으로 커플링되는 광학 공진기를 포함할 수도 있다. 광학 공진기의 변형은 광학 공진기를 통해 이동하는 광 빔의 한 부분의 광학 경로 길이의 변화로 귀결되어, 도파관에 의해 출력되는 광 빔의 공진 파장에서의 변화를 발생시킨다. 다른 실시형태가 설명되고/되거나 청구될 수도 있다. |
