| 发明名称 |
FABRICATION OF DEVICES INVOLVING LITHOGRAPHIC PROCEDURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE56849(B1) |
申请公布日期 |
1992.01.01 |
| 申请号 |
IE19850002055 |
申请日期 |
1985.08.21 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
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| 分类号 |
G03C1/00;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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