发明名称 REAR SURFACE JOINING METHOD OF SEMICONDUCTOR CHIP FOR THERMAL CONDUCTION AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING IT
摘要
申请公布号 JPH03296237(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900099595 申请日期 1990.04.16
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 AKASAKI HIROSHI
分类号 H01L21/60;H01L23/12 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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