METHOD FOR REMOVING RESIDUE IN CRUCIBLE,申请号JP19900098125-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR REMOVING RESIDUE IN CRUCIBLE
摘要
申请公布号	JPH03295890(A)	申请公布日期	1991.12.26
申请号	JP19900098125	申请日期	1990.04.13
申请人	MITSUBISHI KASEI CORP	发明人	KAWAKAMI HIROSHI
分类号	C30B15/00;C30B29/24;H01L21/208	主分类号	C30B15/00
代理机构		代理人
主权项
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