| 发明名称 |
VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03294481(A) |
申请公布日期 |
1991.12.25 |
| 申请号 |
JP19900095723 |
申请日期 |
1990.04.10 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUZUKI MASAKI;KAWA HIDETOSHI;YAMAMOTO SHIGEYUKI;MAEDA YORIHISA |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/24;C23C14/26;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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