发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03293735(A) 申请公布日期 1991.12.25
申请号 JP19900095161 申请日期 1990.04.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKAWA KAZUHIRO;KARASAWA TAKESHI;MITSUYU TSUNEO
分类号 H01L21/363 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
主权项
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