发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03292721(A) 申请公布日期 1991.12.24
申请号 JP19900095731 申请日期 1990.04.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITO YUTAKA
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/84 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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