| 发明名称 |
TREATMENT OF USED ETCHING SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03291388(A) |
申请公布日期 |
1991.12.20 |
| 申请号 |
JP19900093086 |
申请日期 |
1990.04.10 |
| 申请人 |
NITSUTETSU KAKOUKI KK |
发明人 |
KURIHARA TOSHIAKI;RISSEN RIE;HIRABAYASHI TERUHIKO;IMAKIRE YOSHIYUKI |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/28;C23F1/46 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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