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发明名称 PRAEZISIONSPOSITIONIERANTRIEB
摘要
申请公布号 DD296812(A7) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 DD19880321524 申请日期 1988.11.07
申请人 TIMMEL,HEINZ,DR.SC.TECHN.,DE;BUDIG,PETER-KLAUS,PROF. DR.SC.TECHN.,DE;JUGEL,ULRICH,DR.-ING.,DE 发明人 TIMMEL,HEINZ,DR.SC.TECHN.,DE;BUDIG,PETER-KLAUS,PROF. DR.SC.TECHN.,DE;JUGEL,ULRICH,DR.-ING.,DE
分类号 H01L41/00;(IPC1-7):H01L41/00 主分类号 H01L41/00
代理机构 代理人
主权项
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