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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0379431(B2) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 JP19840059696 申请日期 1984.03.29
申请人 MULTI-ARC VACUUM SYST 发明人 BERGMAN CLARK;VERGASON GARY E;CLARK ROBERT;BOZAK SHANNON
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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