| 发明名称 |
APPARATUS FOR DEPOSITING A MATERIAL ON A SUBSTRATE BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9123331(D0) |
申请公布日期 |
1991.12.18 |
| 申请号 |
GB19910023331 |
申请日期 |
1991.11.04 |
| 申请人 |
BEERS INDUSTRIAL DIAMOND DIVISION (PROPRIETARY), DE LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/54;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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