发明名称 PROCESS AND SYSTEM FOR PURIFYING PURE WATER OR ULTRAPURE WATER
摘要
申请公布号 US5073268(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 US19900625427 申请日期 1990.12.11
申请人 EBARA CORPORATION;EBARA RESEARCH CO., LTD. 发明人 SAITO, TAKAYUKI;NAKAJIMA, KEN;IWASE, YOKI;IKEDA, YUKIO;SHIMA, HIROYUKI
分类号 B01D19/00;B01D61/00;C02F1/20;C02F1/32;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/50;C02F1/70;C02F1/72;C02F1/78;C02F9/00 主分类号 B01D19/00
代理机构 代理人
主权项
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