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发明名称
摘要
申请公布号 JPH03122555(U) 申请公布日期 1991.12.13
申请号 JP19900031398U 申请日期 1990.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/8234;H01L27/06;H03F3/193;H03F3/60;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
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