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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03281792(A) 申请公布日期 1991.12.12
申请号 JP19900082543 申请日期 1990.03.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IKEDA TATSUO
分类号 C23F4/04;H01L21/302;H03H3/04 主分类号 C23F4/04
代理机构 代理人
主权项
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