发明名称 HOLDING DEVICE FOR MANIPULATING OBJECTS IN A DISC FORM, SUCH AS SEMICONDUCTOR WAFERS, AND METHOD FOR ITS USE
摘要
申请公布号 EP0402900(A3) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 EP19900111203 申请日期 1990.06.13
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 GERBER, HANS ADOLF, DIPL.-ING. (FH);HOCHGESANG, GEORG, DIPL.-ING. (FH);PARDUBITZKI, ALFRED, DIPL.-ING. (FH);SCHMIEDLINDL, MANFRED;ZIPF, WERNER, DIPL.-ING.(FH);SCHWEIGHOFER, ARTHUR, DIPL.-ING. (FH)
分类号 H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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