发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03280543(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900082420 申请日期 1990.03.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TERAI YUKA;FUJII TOYOKAZU;YAMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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