发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03278481(A) |
申请公布日期 |
1991.12.10 |
申请号 |
JP19900080010 |
申请日期 |
1990.03.27 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
AHEI TADASHI;ITABASHI SATORU;MIZUTANI HIDEMASA;ISHII TAKAYUKI;TSUDA HISANORI;YAMANOBE MASATO |
分类号 |
H01L31/10;H01L21/318;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L31/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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