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发明名称 APPARATUS FOR FORMING TEST PATTERN OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03277984(A) 申请公布日期 1991.12.09
申请号 JP19900079235 申请日期 1990.03.28
申请人 NEC CORP 发明人 KUDO MOTOFUMI
分类号 G01R31/3183;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
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