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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT INTERCONNECT HAVING DUAL DIELECTRIC INTERMEDIATE LAYER
摘要
申请公布号 US5070037(A) 申请公布日期 1991.12.03
申请号 US19890401311 申请日期 1989.08.31
申请人 DELCO ELECTRONICS CORPORATION 发明人 LEISURE, RONALD K.;LARSEN, OYA F.;REGER, RONALD K.
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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