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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03270214(A)
申请公布日期
1991.12.02
申请号
JP19900072332
申请日期
1990.03.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YASUTAKE NOBUYUKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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