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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03270134(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900070491 申请日期 1990.03.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 AKASHI TAKUO
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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