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经营范围
发明名称
FEEDER FOR COOLING WATER OF LSI
摘要
申请公布号
JPH03270059(A)
申请公布日期
1991.12.02
申请号
JP19910016350
申请日期
1991.02.07
申请人
HITACHI LTD
发明人
TAKAHASHI KENJI;TORII TAKUJI;YAMASHITA TETSUHARU;ZUSHI SHIZUO
分类号
H01L23/473
主分类号
H01L23/473
代理机构
代理人
主权项
地址
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