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发明名称
摘要
申请公布号 JPH03115669(U) 申请公布日期 1991.11.29
申请号 JP19900025286U 申请日期 1990.03.13
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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