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发明名称 GLEICHZEITIGE PLAZIERUNG UND VERBINDUNG VON VLSI-CHIPS.
摘要
申请公布号 DE3485201(D1) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 DE19843485201 申请日期 1984.06.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BURSTEIN, MICHAEL, CARMEL NEW YORK 10512, US;HONG, SE JUNE, YORKTOWN HEIGHTS, N. Y. 10598, US;PELAVIN, RICHARD NEIL, CHAPPAQUA, NEW YORK 10514, US
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L23/52 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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