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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03267375(A) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 JP19900069355 申请日期 1990.03.19
申请人 SHIMADZU CORP;KAWARADA HIROSHI;HIRAKI AKIO 发明人 SUZUKI JUNICHI;KAWARADA HIROSHI;HIRAKI AKIO
分类号 C30B25/02;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C30B29/04;C30B33/12;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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