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发明名称 SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03267185(A) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 JP19900066014 申请日期 1990.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UMEDA NOBUYUKI
分类号 B08B3/12;B08B5/02;B08B17/00;F24F7/06;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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