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发明名称 THERMISCHES ABTASTUNGSPROFILGERAET UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLAECHENSTRUKTUREN.
摘要
申请公布号 DE3773988(D1) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 DE19873773988 申请日期 1987.04.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 WICKRAMASINGHE, HERMANTHA KUMAR, CHAPPAQUA, NEW YORK 10514, US;WILLIAMS, CLAYTON COVEY, PEEKSKILL, NEW YORK 10566, US
分类号 G01B7/34;G01B15/00;G01B15/08;G01B21/20;G01N25/72;G01N37/00;G01Q60/58;(IPC1-7):G01N25/72 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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