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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03265138(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900064829 申请日期 1990.03.15
申请人 CANON INC 发明人 YUGE YUTAKA
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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