发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03265133(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900062722 申请日期 1990.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOGASHI MITSUHIRO
分类号 C23C14/06;C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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