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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03264665(A) 申请公布日期 1991.11.25
申请号 JP19900062413 申请日期 1990.03.13
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ISHIGAKI HIDEKI
分类号 B01J19/08;C23C14/48;C23C14/54;H01J37/317;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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