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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH03262143(A)
申请公布日期
1991.11.21
申请号
JP19900060650
申请日期
1990.03.12
申请人
FUJITSU LTD
发明人
AOKI MASAKI
分类号
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/76;H01L27/12
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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