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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH03260073(A)
申请公布日期
1991.11.20
申请号
JP19900060425
申请日期
1990.03.12
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
ISHIOKA HISAMICHI
分类号
C23C16/50;C23C16/511;C23C16/56;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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