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发明名称 THERMALLY STABLE MAGNETIC DEFLECTION ASSEMBLY AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 CA2039581(A1) 申请公布日期 1991.11.18
申请号 CA19912039581 申请日期 1991.04.02
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 YOUNG, LYDIA J.
分类号 H01J37/147;H01J37/30 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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