| 发明名称 |
MECHANISM FOR DISCHARGING FINE PARTICLE OF FOREIGN MATTER OF ATMOSPHERIC CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03257168(A) |
申请公布日期 |
1991.11.15 |
| 申请号 |
JP19900053998 |
申请日期 |
1990.03.06 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
TAKAMI KATSUMI;YOSHIDA AKIRA;KOMATSU NOBUHISA;SAITO TOSHIO |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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