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发明名称 GAS INTRODUCING METHOD AND DEVICE FOR GAS SOURCE MBE
摘要
申请公布号 JPH03257096(A) 申请公布日期 1991.11.15
申请号 JP19900055702 申请日期 1990.03.07
申请人 ANELVA CORP 发明人 AKETAGAWA KENICHI;SAKAI SUMIO
分类号 C30B23/08;C30B29/06;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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