SERVO GUIDED STAGE SYSTEM

摘要

Un étage de positionnement comporte une base, une plaque montée pour glisser sur ladite base, et au moins trois dispositifs d'entraînement linéaire destinés à contacter en rotation à la fois la plaque et la base afin de déplacer la plaque sur la surface de la base. Grâce à au moins trois déplacements d'entraînement séparés, la plaque se déplace par rapport à la base selon les axes x et y agencés de manière rectiligne, et la rotation est également prévue. Les dispositifs d'entraînement linéaire comprennent un moteur et un cabestan entraîné par ce moteur, ainsi qu'une barre d'entraînement qui se frotte contre le cabestan. De préférence, l'étage comporte un mécanisme à ressort communiquant une force orientée vers le bas à l'extrémité de ladite barre qui est reliée à ladite plaque par l'intermédiaire d'un joint à rotule. Cette force demeure constante quelle que soit l'extension de la barre. Un joint à rotule permet une modification dynamique de la précharge entre les cônes et la rotule du joint à rotule et jusqu'à des niveaux voulus. Le système de positionnement comprend un système interféromètre constitué d'une structure intégrée possédant une pluralité de systèmes optiques d'interféromètre disposés sur un élément unitaire. Celui-ci comprend des interféromètres intégrés et parallèles à miroir plan et à deux axes.