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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG DUENNER HOCHTEMPERATURSUPRALEITENDER SCHICHTEN AUF SILICIUM
摘要
申请公布号 DD295954(A5) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 DD19880317106 申请日期 1988.06.24
申请人 AKAD WISSENSCHAFTEN 发明人 BECKER,SABINE,DE;DIETZE,HANS-JOACHIM,DE
分类号 C04B35/50;C23C14/28;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C04B35/50
代理机构 代理人
主权项
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