发明名称 WIRING DESIGN SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03252774(A) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 JP19900050646 申请日期 1990.03.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI COMPUTER ELECTRON CO LTD 发明人 YAMADA MASAHIRO;FURUTA NAOKI;SASAGAWA MUNEHIRO;ONODERA YUICHI
分类号 H01L21/3205;G06F17/50;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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