| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03253559(A) |
申请公布日期 |
1991.11.12 |
| 申请号 |
JP19900051652 |
申请日期 |
1990.03.05 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MORIWAKI KAZUYUKI;YAMAJI AKIHIKO |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/22;C23C14/58 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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