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发明名称 SEPARATION OF RESIDUAL GATES OF MOLDINGS
摘要
申请公布号 JPH03252145(A) 申请公布日期 1991.11.11
申请号 JP19900050080 申请日期 1990.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KARUBE TETSUO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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