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发明名称 INFRARED RAY THERMOMETER
摘要
申请公布号 JPH03250642(A) 申请公布日期 1991.11.08
申请号 JP19900400494 申请日期 1990.12.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJITA SHIOJI;YONEKAWA TAKAO;FURUSAWA KENJI;KATAOKA HIROYUKI;ABE KATSUO;TSUMITA NORIKAZU;SHIGE NORIYUKI
分类号 G01J5/48;G01J5/00;H01L21/66 主分类号 G01J5/48
代理机构 代理人
主权项
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