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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03250628(A) 申请公布日期 1991.11.08
申请号 JP19900045389 申请日期 1990.02.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIDA IKUO;HAYASHIDA TETSUYA
分类号 H01L21/60;H01L21/28;H01L21/321;H01L29/43 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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