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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DETECTING INCLINATION OR HEIGHT, PROJECTION EXPOSURE DEVICE, AND METHOD AND DEVICE FOR INTERFERENCE FRINGE DETECTION
摘要
申请公布号 JPH03249513(A) 申请公布日期 1991.11.07
申请号 JP19900045387 申请日期 1990.02.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSHIDA YOSHITADA;TANIMOTO TETSUZO;TANAKA MINORU
分类号 G01B11/00;G01B11/26;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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