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发明名称 MOLECULAR RAY CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03247589(A) 申请公布日期 1991.11.05
申请号 JP19900040412 申请日期 1990.02.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TSUBOKURA MITSUTAKA
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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