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发明名称 METHOD OF MEASURING A PROFILE OF AN OBJECT AND AN APPARATUS FOR CARRYING OUT THE METHOD
摘要
申请公布号 US5062297(A) 申请公布日期 1991.11.05
申请号 US19890378991 申请日期 1989.07.12
申请人 501 TORAY INDUSTRIES, INC. 发明人 HASHIMOTO, NOBUO;SUZUKI, KUNIOKI;SAIJO, TERUAKI
分类号 G01B17/06 主分类号 G01B17/06
代理机构 代理人
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