GASEOUS RADICAL PRODUCING APPARATUS

摘要

On décrit un appareil de production de radicaux gazeux, muni d'un tube de décharge, un champ magnétique suffisant pour le confinement des électrons à l'intérieur de la région de décharge, et un rétrécissement en aval de la région de décharge. L'utilisation d'un rétrécissement en aval de la région de décharge prolonge le temps de séjour dans la région de décharge, et donc augmente la probabilité de production de radicaux gazeux. Une réalisation préférée de l'invention comporte un champ magnétique suffisant pour provoquer la résonance cylcotronique d'électrons (ECR) et un rétrécissement donnant un rapport de 5:1 ou plus entre la pression gazeuse dans la région de décharge et la pression gazeuse juste en aval du rétrécissement. D'autres caractéristiques préférées de l'invention comprennent l'utilisation d'une culasse métallique, d'une enveloppe métallique entrourant les parties exposées de l'appareil, d'un tube de décharge à faible coefficient de recombinaison et de fréquences micro-ondes industrielles standard.