发明名称 MAGNETRON SPUTTERING TARGET MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH03243765(A) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 JP19900041448 申请日期 1990.02.21
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 MIYAMOTO TAKASHI
分类号 C23C14/35;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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