| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03244136(A) |
申请公布日期 |
1991.10.30 |
| 申请号 |
JP19900042135 |
申请日期 |
1990.02.22 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NOGUCHI SHIGERU;ISHIDA SATOSHI;IWATA HIROSHI;SANO KEIICHI;NAKAYAMA SHOICHIRO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786;H01L29/92 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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